电容薄膜真空计_真空_压力_产品_威分系统集成(上海)有限公司

CDG100
电容薄膜真空计

CDG100是一款高精度电容式真空计，测量单元由化学性能极其稳定的⾼纯陶瓷膜⽚构成，具有⽓体介质种类⽆关，⾼精度，快速响应和⽆迟滞等优点。该系列产品的各级电信号全部采⽤数字信号处理技术，⼤幅提⾼了测量精度和智能化程度，同时保证了优异的信号底噪抑制功能，从⽽提⾼了电容薄膜规的EMC兼容性，⻓期稳定性和宽温范围内的补偿精度。CDG100用于半导体制造、光伏产业及工业市场中低真空压力的测量。

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产品概述

CDG100是一款高精度电容式真空计，测量单元由化学性能极其稳定的⾼纯陶瓷膜⽚构成，具有⽓体介质种类⽆关，⾼精度，快速响应和⽆迟滞等优点。该系列产品的各级电信号全部采⽤数字信号处理技术，⼤幅提⾼了测量精度和智能化程度，同时保证了优异的信号底噪抑制功能，从⽽提⾼了电容薄膜规的EMC兼容性，⻓期稳定性和宽温范围内的补偿精度。CDG100用于半导体制造、光伏产业及工业市场中低真空压力的测量。

技术参数

测量范围（绝压）	0~1Torr ，0~10Torr ，0~100Torr ，0~1000Torr，允许10倍最大抗过载能力
精度	±0.5%，±0.2%F.S.（可选）
工作温度	-30～105℃
输出信号	4~20mA（9~30VDC）、RS485（9~36VDC）、0~10 VDC（12~30VDC）、0-5 VDC（9~30VDC）
输入电压	24VDC（典型值）
外壳材质	SUS304，SUS316不锈钢，阳极氧化铝合金
接液材质	行业定制
防护等级	IP65
电气连接	线缆、 5针接线端子、9针D-Sub或15针D-Sub 接头
过程接口	KF16，KF25，1/4 VCR（其它接口类型可定制）

产品特点

》高纯陶瓷膜片，耐化学腐蚀

》高精度测量，精度可达0.25% RS

》带传感器温度输出功能

》超宽温补范围，-20~80℃

》强大的抗过载能力，达4atm.

》快速开机，快速响应，预热时间小于500ms

》模拟信号任意迁移（10%~100%量程范围）

》可根据需要选择最适合的量程订购

》良好的售后服务体系，超长质保期2年

行业应用

》新能源电池生产
》半导体制造业
》 PECVD/ALD工艺设备
》化学工业
》科学研究
》真空包装
》等离子体灭菌器